Тахеометрическую съемку обычно выполняют для создания топографических планов небольших участков в крупных масштабах. При съемке применяют технические или точные теодолиты, номограммные тахеометры со столиком для картирования и другие приборы. Наиболее высокая точность и производительность труда достигается при выполнении работ электронными тахеометрами с последующей компьютерной обработкой полученных данных.
Для производства тахеометрической съемки применяют теодолиты-тахеометры, т. е. теодолиты, имеющие вертикальный круг, устройство для измерений расстояний и буссоль для ориентирования лимба. К теодолитам-тахеометрам относится большинство теодолитов технической точности, например ТЗО. Наиболее удобными для выполнения тахеометрической съемки являются номограммные определения превышений и горизонтальных проложений.